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性能参数
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颜色
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琥珀色
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使用温度℃
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-20~300
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硬度（ShoreA）
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76
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拉伸强度（Mpa）
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21.6
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延伸率（%）
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353
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模量（100%Modulus）
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3
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压缩永久变形率 %（200℃ /70h)
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42
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特性
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" 高纯净性耐 plasma 优异低放 出气体不产生颗粒物低粘附性 "
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应用
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PVD、 Etch、CMP、 低 温 环 境等
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