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性能参数
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颜色
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透明
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使用温度℃
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-10~180
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硬度（ShoreA）
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57
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拉伸强度（Mpa）
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22.7
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延伸率（%）
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351
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模量（100%Modulus）
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压缩永久变形率 %（200℃ /70h)
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特性
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" 高纯净性低放出气体不产生颗 粒物耐 plasma 性能好 "
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应用
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CVD、PVD、Etch 等
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